Класифікація напівпровідникових кремнієвих пластин за різними параметрами
Класифікація за різними параметрами：
Semiconductor Silicon Wafer є основою для виробництва кремнієвих напівпровідникових виробів
За різними розмірами (діаметри), Напівпровідникові кремнієві пластини можна розділити на 2 дюймів (50мм), 3 дюймів (75мм), 4 дюймів (100мм), 5 дюймів (125мм), 6 дюймів (150мм), 8 дюймів (200мм), 12 дюймів Дюйм (300мм), під впливом закону Мура, напівпровідникові кремнієві пластини постійно розвиваються в бік великих розмірів. В даний час, 8 дюймів і 12 дюйми є основними продуктами, що становить понад 90% від загальної площі відправлення.
Класифікується за рівнем допінгу：
За ступенем легування, Напівпровідникові кремнієві пластини можна розділити на слабо леговані та сильно леговані.
- Сильнолеговані кремнієві пластини мають велику кількість легуючих елементів і низький питомий опір, і зазвичай використовуються в енергетичних пристроях та інших продуктах;
- Легколеговані кремнієві пластини мають низьку концентрацію легування і зазвичай використовуються в області інтегральних схем, з більш високою технічною складністю та вимогами до якості продукції.
Оскільки на інтегральні схеми припадає понад 80% світового ринку напівпровідників, існує більший світовий попит на кремнієві пластини з легким легуванням.
Класифікація за процесом：
Відповідно до процесу, напівпровідникові кремнієві пластини можна розділити на шліфувальні пластини, полірування пластин, спеціальні вафельні епітаксіальні пластини на основі полірувальних пластин, ТАК Я, і т.д..
- Шліфувальні листи можна використовувати для виготовлення дискретних пристроїв;
- Злегка леговані полірувальні листи можна використовувати для виготовлення великомасштабних інтегральних схем або як матеріали підкладки для епітаксійних пластин, і сильно леговані полірувальні листи зазвичай використовуються як матеріали підкладки для епітаксіальних пластин.
- У порівнянні з абразивними листами, полірувальні листи мають кращу рівність і чистоту поверхні.
- На основі шліфованих пластин, обпалені вафлі, епітаксіальні пластини, Можна виготовити пластини SOI та пластини ізоляції з’єднань. Пластини відпалу. Високотемпературна термічна обробка полірованих пластин в атмосфері водню або аргону для видалення кисню поблизу поверхні пластини може покращити цілісність поверхневих кристалів..
- Епітаксіальна пластина — це шар монокристалічного кремнію, вирощеного в паровій фазі, утворений на поверхні полірованої пластини., які можуть задовольнити потреби багатошарових структур, які вимагають кристалічної цілісності або різного питомого опору.
- Кремнієва пластина SOI (Кремній на ізоляторі) це шар оксидної плівки з високою електроізоляцією, вставлений між двома полірованими пластинами, які можуть досягти високої інтеграції, низьке енергоспоживання, висока швидкість і висока надійність пристрою, а також може використовуватися на поверхні активного шару.
Утворюється дифузійний шар арсену або арсену. Кремнієві пластини з ізоляцією з’єднань створюються за дизайном замовника, використання експозиції, методи іонної імплантації та термічної дифузії для попереднього формування вбудованого шару IC на поверхні пластини, а потім наростити поверх епітаксійний шар.
Класифікація за сценаріями застосування:
За різними сценаріями застосування, напівпровідникові кремнієві пластини можна розділити на основні та фіктивні пластини.
- Prime Wafer використовується у виробництві напівпровідникової продукції, і Dummy Wafer використовується для розігріву, заповнити вакансії, і перевірити статус процесу виробничого обладнання або якість процесу.
- Фіктивні пластини, як правило, вирізаються з частин низької якості з обох боків кристалічного стрижня. Через величезну кількість використання, деякі продукти будуть перероблені та повторно використані, якщо умови будуть виконані.
- Перероблені кремнієві пластини називаються регенерованими пластинами. Згідно з даними Guanyan.com, 65-нанометровий процес виробництва пластин повинен додати 6 підроблені вафлі для кожного 10 позитивні вафлі, і процес 28 нм і нижче потрібно додати 15-20 підроблені вафлі для кожного 10 позитивні вафлі.
HTTPS://www.youtube.com/watch?v=N57A-9mi-Mk
Зв'яжіться з нами знати більше !
і ось більше цікавих програм .
