4月
ダイヤモンド ワイヤー ループは、シリコン ウエハーの処理に有利な位置にあります。, 4月?
初め, 4月.
4月. シリコンウェーハの準備は、単結晶シリコンと多結晶シリコンの製造プロセスと処理技術に分けられます.
ウェーハ処理プロセスに含まれる製造ステップは、ウェーハ メーカーによって異なります。.
(1) 単結晶シリコンウェーハ加工技術
トリミング → 外径丸め → スライス → 面取り → 研削 → 腐食, クリーニング, 等.
①トリミング: 結晶育成完了後, 結晶シリコンの頭と尾の不要な部分を、結晶成長に垂直な方向に沿って切り取ります.
②外径丸め: チョクラルスキー単結晶シリコン, 結晶成長時の熱振動、熱衝撃による, 結晶表面はあまり滑らかではありません, つまり, 単結晶シリコン全体の直径はある程度変動する;
加えて, 結晶成長が完了した後の単結晶シリコン棒の表面には平らな隆起があります, 単結晶シリコンロッド全体の直径を均一にするためには、さらに加工が必要です。. その後の材料や加工工程での操作を容易にするために.
③スライス: 単結晶シリコン球状化工程終了後, 単結晶シリコンロッドをスライスする必要があります. 太陽電池用単結晶シリコンをスライスする場合, 結晶方位などのパラメータ, シリコンウェーハの平行度、反りが高くない, シリコンウェーハの厚さだけを制御する必要があります.
④面取り: 単結晶シリコン棒を切り出してウエハー化, ウェーハの鋭いエッジを円弧状にトリミングする必要があります, 主にウェーハのエッジの割れや格子欠陥を防ぐため.
⑤研削: スライス後, シリコンウェーハの表面にラインマークが発生. スライスによるソーマークや表面損傷層を研磨で除去する必要がある, 反りを効果的に改善することができます, 単結晶シリコンの平面度と平行度, 研磨工程を実現.
⑥腐食と洗浄: スライス後, シリコンウェーハの表面に機械的損傷層があります, 表面近くの結晶格子は不完全です, シリコンウェーハの表面が金属粒子などの不純物で汚染されている.
したがって, 一般的にスライスした後, 太陽電池を準備する前に, シリコンウェーハは化学的に腐食する必要があります. 単結晶シリコンウェーハの加工では、多くの工程で洗浄が必要です, ここでの洗浄は主に腐食後の最終洗浄です. 洗浄の目的は、ウェーハ表面からすべての汚染源を取り除くことです.
(2) 多結晶シリコンウェーハ加工技術
角削り → 研削 → 面取り → スライス → 腐食, クリーニング, 等.
①二乗 ：角型結晶シリコンインゴットの場合, シリコンインゴットをカットした後, それは正方形にカットする必要があります, あれは, シリコンインゴットの結晶成長の長手方向に沿って, シリコンインゴットは、特定のサイズの長方形のシリコンブロックにカットされます.
②研削面: 角付け後のシリコンブロックの表面に線状の跡がつく, のこぎりの跡や角付けによる表面の損傷を取り除くために研磨が必要, シリコンブロックの平面度と平行度を効果的に改善し、研磨プロセスを実現します.
③面取り: ポリシリコンがシリコンブロックに切断された後, シリコンブロックの鋭い角は、面取りして円弧状にトリミングする必要があります, 主にシリコンウェーハのエッジの割れ防止, 切断時のチッピングや格子欠陥.
スライス、その後の腐食、洗浄工程は単結晶シリコンとほぼ同じ, ここでは繰り返さない.
総括する, 単結晶シリコンウェーハ加工か多結晶シリコンウェーハ加工か, トリミングとスライスの 2 つの主要なプロセスがあります。.
ほとんどのシリコンウェーハ製造技術では, ダイヤモンド ワイヤは、従来のバンド ソーで切断された後、スライスされます。.
ここで紹介するダイヤモンドワイヤーソーは、シリコンウエハーを切断するために特別に設計されたダイヤモンドワイヤーです。. このワイヤーはとても細いです, 約0.03mm. 水晶を薄くスライスできる. クロッピングには使用できませんのでご注意ください。.
帯鋸の刈刃が厚くて操作しやすい, しかし、ナイフの縫い目は広いです, 材料を浪費し、シリコンウェーハの表面に重大な損傷を与える.
ダイヤモンドワイヤーソーの線径は比較的小さく、結晶を直接切断することはできません.
そして、ダイヤモンドワイヤーループを開発しました, これは、クリスターを切断するために使用できる比較的太いダイヤモンド ワイヤーです。. バンドソーとの比較, 切断速度が速い, ナイフの縫い目が小さい, 材料が保存されます, そして切断精度はより高くなります. バンドソーのトリミングを置き換えることができます.
シリコントリミング動画はこちら:
https://www.youtube.com/watch?v=N57A-9mi-Mk
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そしてここにあります より興味深いアプリケーション .
