Yon senp konpreyansyon sou semi-conducteurs Silisyòm wafers
youn， Entwodiksyon nan Semiconductor Wafers
- Rechèch la nan semiconductor soti nan rechèch la nan fizik eta solid ak syans elektwonik. Nan 1938, Papye Shaw la “Rektifikasyon nan entèfas metal-semiconductor” se te premye moun ki konekte rechèch fondamantal nan fizik eta solid ak pèfòmans nan eleman semi-conducteurs.
- Nan fen 1947, premye tranzistò a te fèt nan Bell Labs. Rechèch bonè sou fizik eta solid te baze sou kristal germanium kòm tranzistò, men pi gwo avantaj nan Silisyòm tranzistò yo se ke yo ka itilize nan yon anviwònman tanperati ki wo nan 100 degre, pandan ke tranzistò germanyòm pa gen okenn fonksyon nan 70 degre, ki limite anpil dimansyon aplikasyon an.
- Nan 1954, Thiel te grandi kristal lè l sèvi avèk metòd Czochralski sèl kristal nan Texas Instruments, e li te fè premye tranzistò Silisyòm nan mond lan, inogirasyon nan epòk la nan elektwonik ki baze sou Silisyòm eta solid.
Avantaj nan Silisyòm kòm yon materyèl semi-conducteurs:
1. Silisyòm rezève 26.8% sou tè a, dezyèm sèlman nan oksijèn
2. Silisyòm gen yon gwo diferans enèji (1.13V), ki pèmèt pi wo tanperati opere ak pi ba aktyèl flit
3. Kouch SiO2 sou sifas wafer Silisyòm lan ka kenbe tèt ak tanperati ki wo epi pwoteje wafer Silisyòm lan
- Silisyòm wafer, ke yo rele tou Silisyòm wafer, se materyèl debaz ki pi enpòtan pou fabrikasyon semi-conducteurs, ak prensipal matyè premyè li yo se Silisyòm monokristalin.
- Yon wafer Silisyòm se yon objè ki sanble ak fèy ki fèt ak Silisyòm, jeneralman te fè nan segondè-pite Silisyòm cristalline. Konpare ak lòt materyèl, estrikti molekilè nan Silisyòm cristalline trè estab, ak kèk elektwon gratis.
- Yon aparèy semi-conducteurs se yon pwodwi ki gen yon konduktiviti espesifik ki finalman jwenn pa chanje estrikti molekilè Silisyòm pa mwayen fotolitografi., enplantasyon ion ak lòt mwayen pou amelyore konduktiviti li yo.
de， Semiconductor wafer klasifikasyon
- Semiconductor Silisyòm wafers kont pou sou 37% nan mache materyèl semi-conducteurs manifakti, plase premye pami twa materyèl debaz pou fabrikasyon semi-conducteurs. .
- Difikilte debaz la nan gauf Silisyòm manti nan kondisyon yo ki pite segondè, ki anjeneral mande plis pase 9N.
- Wafers yo itilize nan fabrikasyon IC yo tout silisyòm monokristalin, ak espesifikasyon espesifik wafer Silisyòm yo ka divize an twa kategori: poli wafers PW/AW, epitaxial wafers EW ak silikon-sou-izolan SOI.
twa， Pwosesis pwodiksyon wafer Silisyòm
- Soti nan pèspektiv nan koule nan pwosesis pwodiksyon an, preparasyon an nan polysilicon, nan ingot nan materyèl Silisyòm, baton an rale ak la koupe nan Silisyòm wafers se kat teknoloji debaz yo nan aktyèl la pwosesis pwodiksyon wafer Silisyòm.
- Pwosesis la sitou afekte pite a, kontni enpurte, konpakte, gwosè grenn ak distribisyon gwosè, oryantasyon kristal ak inifòmite estrikti nan wafer Silisyòm lan, ak epesè wafer Silisyòm lan.
