Процес обробки монокристала кремнієві злитки в напівпровідниковій промисловості
На стадії приготування монокристалічної кремнієвої пластини, кремнієві монокристалічні злитки необхідно обробити в необроблені кремнієві пластини або баревафери з високою точністю поверхні та якістю поверхні, щоб підготуватися до планаризації для літографії та інших процесів у першій половині процесу IC.. Тут необхідна ультрагладка поверхня основи без пошкоджень.
Для кремнієвих пластин діаметром ≤200 мм, традиційний процес обробки кремнієвих пластин:
ріст монокристалів → кадрування → шліфування бочки зовнішнього діаметра → обробка плоскою кромкою або V-подібною канавкою → зняття пластин → зняття фаски → шліфування → травлення → полірування → очищення → пакування .
кадрування : Мета полягає в тому, щоб відрізати голову та хвіст монокристалічного кремнієвого стрижня та частину, яка перевищує специфікацію замовника, сегментуйте монокристалічний кремнієвий стрижень на довжину, яку може впоратися обладнання для нарізки, і виріжте тестовий шматок для вимірювання питомого опору та вмісту кисню в монокристалічному кремнієвому стрижні. кількість. У цьому процесі традиційно використовується алмазна стрічкова пила або один алмазний дріт для обрізання. В останні роки, широкомасштабна заміна традиційного обладнання для усікання виникла після появи петля алмазного дроту/нескінченний алмазний дріт.
HTTPS://www.youtube.com/watch?v=N57A-9mi-Mk
Шліфування зовнішнього діаметра: Оскільки поверхня зовнішнього діаметра монокристалічного кремнієвого стрижня не є плоскою, а діаметр більший за вказаний діаметр кінцевої полірованої пластини, більш точний діаметр можна отримати шляхом прокатки зовнішнього діаметра.
Обробка плоскої кромки або V-подібної канавки: Його вказано для обробки до опорної площини, і плоский край або V-подібна канавка з певним кристалографічним напрямком на монокристалічному кремнієвому тримачі.
Wafering: означає розрізання монокристалічного кремнієвого стрижня на тонкі скибочки з точними геометричними розмірами.
Зняття фаски: відноситься до обрізання гострого краю вирізаної пластини в дугоподібну форму для запобігання розтріскування країв стружки та дефектів якості
Шліфування: відноситься до видалення слідів пилки та шарів пошкоджень поверхні, спричинених різанням і шліфуванням круга шляхом шліфування, ефективно змінюючи викривлення, площинність і паралельність однопродуктової кремнієвої пластини, і досягнення специфікацій, які можна досягти за допомогою процесу полірування.
