Pwosesis koule nan yon sèl kristal lengote Silisyòm nan endistri semi-conducteurs
Nan etap preparasyon wafer silikon sèl-kristal la, Silisyòm sèl-kristal lengote yo bezwen trete nan gato Silisyòm anvan tout koreksyon oswa barewa-fers ak presizyon sifas segondè ak bon jan kalite sifas yo prepare pou planarization pou litografi ak lòt pwosesis nan premye mwatye nan pwosesis la IC.. Ultra-lis ak domaj-gratis sifas substra yo obligatwa isit la.
Pou wafers Silisyòm ak yon dyamèt ≤200mm, pwosesis tradisyonèl Silisyòm wafer pwosesis la se:
kwasans sèl kristal → rekòt → dyamèt ekstèn barik fanm k'ap pile → kwen plat oswa tretman V-Gove → wafering → chanfrein → fanm k'ap pile → grave → polisaj → netwayaj → anbalaj .
Koupe : Objektif la se koupe tèt la ak ke nan baton an Silisyòm kristal sèl ak pati a ki depase spesifikasyon kliyan an., segman baton nan yon sèl kristal Silisyòm nan longè a ke ekipman nan tranche ka okipe, epi koupe moso tès la pou mezire rezistivite ak kontni oksijèn nan baton Silisyòm kristal sèl la. kantite. Pwosesis sa a tradisyonèlman itilize yon bann dyaman wè oswa yon sèl fil dyaman pou tronke. Nan dènye ane yo, yon ranplasman gwo-echèl nan ekipman tronke tradisyonèl te parèt apre Aparisyon nan dyaman fil bouk / alkole fil dyaman.
https://www.youtube.com/watch?v=N57A-9mi-Mk
Eksteryè dyamèt fanm k'ap pile: Depi sifas dyamèt ekstèn nan baton Silisyòm kristal sèl la pa plat ak dyamèt la pi gwo pase spesifikasyon dyamèt espesifye nan wafer final la poli., yon dyamèt ki pi egzat ka jwenn pa woule dyamèt ekstèn.
Kwen plat oswa pwosesis V-groove: Li espesifye yo dwe trete nan avyon an referans, ak kwen plat la oswa V-groove ak yon direksyon kristalografik espesifik sou detantè a Silisyòm monokristalin.
Wafering: refere a koupe yon sèl baton Silisyòm kristal nan tranch mens ak dimansyon jeyometrik egzak.
Chamfering: refere a koupe kwen an byen file nan wafer la koupe nan yon fòm arc pou anpeche chip kwen fann ak domaj kalite.
Manje: refere a retire mak wè ak kouch domaj sifas ki te koze pa tranche ak wou fanm k'ap pile pa fanm k'ap pile., efektivman chanje warpage la, flatness ak paralelis nan yon sèl-pwodwi Silisyòm wafer, ak rive nan espesifikasyon yo ki ka okipe pa yon pwosesis polisaj.
