Yksikiteiden käsittelyvirta silikoniharkot puolijohdeteollisuudessa
Yksikiteisen piikiekon valmistusvaiheessa, yksikiteiset piiharkot on prosessoitava raakapiikiekoiksi tai paljaiksi kiekoiksi, joilla on korkea pintatarkkuus ja pinnan laatu, jotta ne valmistautuvat litografiaa ja muita prosesseja varten IC-prosessin ensimmäisellä puoliskolla tapahtuvaan planarisointiin. Tässä vaaditaan erittäin sileä ja vaurioitumaton alustapinta.
Piikiekot, joiden halkaisija on ≤ 200 mm, perinteinen piikiekkojen käsittelyprosessi on:
yksikidekasvu → rajaus → ulkohalkaisija tynnyrin hionta → tasainen reuna tai V-urakäsittely → kiekko → viiste → hionta → etsaus → kiillotus → puhdistus → pakkaus .
Rajaus : Tarkoituksena on katkaista yksikiteisen piisauvan pää ja häntä sekä se osa, joka ylittää asiakkaan määrityksen, segmentoi yksikiteinen piitanko pituuteen, jonka viipalointilaitteisto pystyy käsittelemään, ja leikkaa testikappale yksikiteisen piisauvan resistiivisyyden ja happipitoisuuden mittaamiseksi. määrä. Tässä prosessissa käytetään perinteisesti timanttivannesahaa tai yhtä timanttilankaa katkaisemiseen. Viime vuosina, syntymisen jälkeen on syntynyt laajamittainen perinteisten katkaisulaitteiden vaihto timanttilankasilmukka/päätön timanttilanka.
https://www.youtube.com/watch?v = N57A-9mi-Mk
Ulkohalkaisijan hionta: Koska yksikiteisen piisauvan ulkohalkaisijapinta ei ole tasainen ja halkaisija on suurempi kuin lopullisen kiillotetun kiekon halkaisijamääritelmä, Tarkempi halkaisija voidaan saada ulkohalkaisijan valssauksella.
Tasainen reuna tai V-urakäsittely: Se on määritetty käsiteltäväksi referenssitasoon, ja tasainen reuna tai V-ura, jossa on tietty kristallografinen suunta monokiteisen piin pidikkeessä.
wafering: tarkoittaa yksikiteisen piisauvan leikkaamista ohuiksi viipaleiksi, joilla on tarkat geometriset mitat.
Viistotu: viittaa leikatun kiekon terävän reunan leikkaamiseen kaaren muotoon lastun reunan halkeilun ja laatuvirheiden estämiseksi
Hionta: tarkoittaa viipaloinnin aiheuttamien sahanjälkien ja pintavauriokerrosten poistamista ja pyörän hiontaa hiomalla, muuttaa vääntymistä tehokkaasti, yhden tuotteen piikiekon tasaisuus ja yhdensuuntaisuus, ja saavuttaa kiillotusprosessilla käsiteltävissä olevat ominaisuudet.
